2019年,1月15日。
唐都市半导体材料产业园。
唐都市这两年来,已经开发了诸多的产业园。
半导体产业园,玄武电池产业园等等,这些产业园的出现都是和银河科技有着极大的关系。
可以说如果没有银河科技,就不会有这些产业园的出现。
并且,这些产业园也是真的有技术,有投资,有产业,而不是其他城市,盖几座楼,修几条路,就对外说这是产业园。
这个产业园区平时很低调,低调到很多人都不知道这个产业园里面,有着一个超级大国重器。
这个超级大国重器就是光刻工厂。
在光刻工厂技术被验证具备可实现性的时候,上面就在最短的时间,给银河科技拨了一块500亩的地,来盖光刻工厂。
这块工业用地,完全是免费的。
不仅如此,还给银河科技拨了十个亿的建设资金,作为奖励。
并且,还联系了官方建设团队,把光刻工厂的建设当成了政治任务传了下去。
如此一来,接下来的事情就很简单了。
银河科技只需要给出需求和技术,以及出钱,剩下的全交给官方就行了。
官方出手,速度自然是不同凡响的。
全方位的保障,让建设速度就像是按下了加速键一样,所以,这么大的一个超级高科技工厂,就在短短的时间内完成了建设,并且进入了试投产。
是的,今天就是光刻工厂要进行试投产的日子。
一大早,整个产业园就已经被穿着西服的精壮青年给安保了起来。
唐都市的领导,秦省的领导,以及来自京城的领导。
还有一支来自总台的记者团队,悄然来到了产业园。
光刻工厂控制中心。
能够出现在这里的人并不多。
唐都市大总管吴青松、秦省二总管段证、秦省科技厅总管、京城工信部副总管以及科技部高新司司长等人。
光刻工厂的负责人,则是王东来专门挖来的高级专家梁松。
在原时空,中心正是有了梁松的加入,才在300天内就攻克了14纳米工艺技术的难关,并将中心国际的工艺良品率提升到95%。
这个能力,不可谓不强大。
但就是这么一个顶尖人材,居然在后面,因为企业内部争权夺利,被赶了出去。
这简直就像是一个黑色幽默。
不过,这一时空,王东来就没有给中心国际这个机会了。
在梁松刚脱离竞业限制期之后,就立即亲自上门,把此人挖了回来。
而打动这样的顶尖人才,只有金钱是远远不够的。
但王东来只是用了短短三句话,就打动了梁松,让他坚定内心,选择加入银河科技半导体。
现在,站在指挥中心的梁松,神情之中藏着说不出的激动和亢奋。
如果今天的光刻工厂试投产完成的话,所代表的意义就太重大了。
控制中心的灯光明亮无比,巨大的环形屏幕被分割成二十多个窗口,最中间的大屏幕上有这一个极为醒目的倒计时。
距离启动还有三十分钟!
刘总管站在屏幕前面,手指轻轻地敲在了台面,发出轻微的咚咚声。
“梁博士,昨晚最后一次联调,双工作平台同步误差控制在多少?”
能够出现在这里,刘总管自然是懂一点技术的。
真要是一点都不懂的话,下去视察工作,被人骗了都不知道。
梁孟松作为负责人,下意识地看了一眼王东来,才出声说道:“报告领导,同步误差≤2nm,达到设计指标!”
声音带着一丝沙哑,若是细看的话,就能看到梁松的眼球上的红色血丝。
这大半年来,梁松完全是吃住在了这里。
如果说别人是996上班的话,那么梁松就是007了。
在光刻工厂上,他投入的精力是最大的。
不知道熬了多少个通宵,加了多少班。
要不是王东来专门给梁松配了一支医疗团队,来保证他的身体健康,恐怕早就熬垮了。
可就算是这样,他脸上的疲惫之色依然极为明显。
二总管拍了拍梁松的肩膀,鼓励着说道:“省上一直都很关注这里,到时候会为你们请功的,你们是全省半导体产业的功臣。”
吴青山也跟着表态说道:“梁博士,不要紧张,相信王院士的实力,也要相信你们的能力。”
梁松点了点头,深吸一口气,强行压下心里的激动。
而王东来在一旁看着,神情之中透露出一股强大的自信。
光刻工厂的技术路线,如果按照原时空发展,恐怕几十年内都不可能会实现。
但是,在这个时空,有了他的出手,情况就不同了。
光刻工厂的核心技术,其实说穿了,就是靠着娲在控制。
也就是说,光刻工厂是以现在的技术水平根本无法复现的。
只要王东来愿意,随时都可以撤走娲的控制,从而让光刻工厂失败。
不仅仅是光刻工厂,就连玄武电池也是类似的手段。
狡兔死,走狗烹,飞鸟尽,良弓藏。
这句话,王东来还是知道的。
时间很快过去,就来到了九点钟。
控制中心顿时响起了清晰的指令声音:“各单位注意,光刻工序启动倒计时开始。”
“十!”
“九!”
“八!”
“……”
所有人都下意识地屏住呼吸,目光死死地盯着面前的屏幕。
“激光光源准备!”
“投影物镜聚焦完成!”
“曝光开始!”
随着一个个命令下达,整个工厂都陷入了一种极为严肃而又认真的氛围之中。
光刻技术作为高科技中的高科技,技术含量是极高的。
所以,也就代表着能够出现在这里的工人,文化水平都不可能太低。
最低最低也得是个重本才行。
像是硕士,博士更是一大片。
尤其这可是全球唯一的光刻工厂技术,具备全球唯一性,更是不知道吸引力多少学者专家的目光。
不少人连工资都不想要,甚至还愿意倒贴钱进来,为的就是能够近距离接触这个技术。
这在学术界,可是具备极大的学术价值。
所以,外人都能够想明白的事情,在这里工作的众多员工也很清楚。
此刻毫无疑问就是决定他们命运的关键时刻。
只要光刻工厂成功了,那么他们就能伴随着这个成功,在事业上取得新的成就。
可要是失败,一切休提!
从指挥中心的屏幕上,可以看到每个流程的画面。
这里毕竟是光刻工厂,而不是芯片生产流程,不会从一堆沙子变成芯片开始。
就只见到机械臂把一片12英寸的硅片,缓缓送到固定位置,在这个硅片上所涂抹的光刻胶,正是银河科技自研出来的产品。
包括EDA设计软件,再到掩膜台,这些核心软件以及设备都是银河科技自主研发,突破西方技术完成的。
众人看着屏幕里的硅片,就像是在看稀世珍宝一样,充满了期待。
当晶圆精准对接至双工作台的瞬间,屏幕上的对位误差数字立刻就跳出了一个精准数字。
0.05μm!
这个数字是什么意思呢,相当于头发丝直径的千分之一!
很快,光斑在晶圆表面上开始移动,如同用纳米级的刻刀在绘制电路图案。
小小的一枚芯片,看上去可能还没有小拇指指甲大,但是放到高精显微镜下,就能看到密密麻麻的电路图案。
只有看到这个场景,才会知道芯片上所存在的技术是何等强大。
设备运行发出的低鸣声,在安静无比的指挥大厅里面变得刺耳起来。
只不过,在场的众人都没有嫌弃这个声音,甚至于连呼吸都不敢大声,害怕会有影响。
第一片被曝光完成的晶圆被送到显影机,光刻胶经显影液处理后,电路图案逐渐显影。
当晶圆从设备中送出时,测试主管快步上前,用机械臂将其转移至电子显微镜下。
屏幕上,28nm的晶体管阵列整齐排列,线条边缘光滑如镜,没有一丝毛刺。
“线宽均匀度98.7%!”测试主管的声音带着颤抖,“符合设计标准!”
控制中心里响起第一阵压抑的掌声,随即又迅速安静起来。
因为真正的“大考”还在后面,接下来的蚀刻、离子注入、金属沉积……还有100多道工序,任何一步失误都会让前面的努力功亏一篑。
时间一分一秒过去,晶圆在不同车间流转,控制中心的屏幕上实时更新着每道工序的参数:蚀刻深度误差≤2%,离子掺杂浓度均匀性≥99%,金属布线良率95%……
数据曲线像一条绷紧的弦,时高时低,却始终在合格线以上徘徊。
因为整个流程不是一两个小时就能完成的,所以领导们是专门抽出了一天的时间,留在这里,要亲眼看到光刻工厂的正式投产的情况。
如果出现问题,就要立即找出问题,并解决。
如果成功的话,那就立刻汇报上去,这将会成为又一个领先全球的技术,极大地增强我们的话语权和竞争力。
到了中午的时候,是专门送来的盒饭,而不是专门去外面吃。
就连休息,也是临时征用了工厂的员工休息区。
“下午的化学机械抛光(CMP)是关键,表面平整度要控制在0.5nm以内。”
“别忘了检测金属互联层的接触电阻,这直接影响芯片性能。”
梁松在给下面的流程组长一边讲着技术核心要点,一边回顾着中午的表现,进行复盘。
这个时候,王东来走了过来。
当王东来出现的时候,在场的众人都站了起来。
这倒并不是因为王东来老板的身份,而是他们对于王东来所掌握的技术的钦佩。
光刻工厂的技术核心,完全就是王东来一手完成突破的。
到了现在为止,还有很多技术是他们知其然,不知其所以然的。
看似他们是光刻工厂的技术管理人员,实际上就和按开关的猴子没有多大区别。
说的夸张一点,如果王东来愿意写出一个详细至极的操作手册,那么他们这些人都可以离职了。
随便挑一些记性好,服从性好的员工,背熟操作手册,就按照上面的规定去做,也不见得会比他们做的差。
“老板!”
众人齐声喊道,语气之中有崇拜,有敬畏,还有一丝羡慕。
“好了,大家都坐。”
“今天对于集团,对于你们来说,都是很重要的一天。”
“是骡子是马,拉出来溜溜,光刻工厂前前后后也投入了好几百个亿,成功了,原地翻倍。”
“在我这里,没有失败!”
“早上大家的表现还行,还有很大的进步空间,考虑到这是第一次,我能够理解。”
“下午的时候,你们放平心态,不要考虑太多,就按照平时做的那样去做。”
“技术是不会骗人的,机器是稳定的,所以成功就是成功。”
“给你们说一个消息,所有员工,这个月多发一个月工资作为辛苦费,和项目成功奖励不冲突。”
王东来当老板,自然是懂得该如何激励员工做事。
画大饼,一时有用,信誉破产之后,只能起到反效果。
最有效的就是发钱,咔咔发钱就行。
就算是对钱不怎么看重的人,也不会拒绝老板发钱,做起事来,也会更加上心。
果不其然,在王东来宣布了这个消息之后,众人的神情立即就变得激动兴奋起来。
激励完众人之后,王东来便离开,众人也都很快回到了各自工作岗位上。
下午三点,晶圆进入最后一道工序,晶圆测试。
当探针卡接触到芯片Pad点时,控制中心的空气仿佛凝固了。
屏幕上跳出第一组测试数据:逻辑功能测试:通过
漏电率:0.01μA/mm
最大工作频率:3.2GHz
良率:96.7%
“良品率96.7%!”
看到这个测试数据,测试工程师立即一脸激动地站了起来,声音都因为太过激动而有些破音了。
这一刻,控制中心的安静被瞬间打破。
先是一声压抑不住的欢呼,随即像星火燎原般扩散——年轻的工程师们互相拥抱,有人抹着眼泪笑,有人举起写满参数的笔记本挥舞。
就连各位领导的脸上也不由地露出了如释重负的笑意。
光刻工厂所承载的意义太过巨大了。
不要看只有这几位领导出现在这里,更多的领导都是在暗暗地关注着这里的消息。
现在,这个测试数据一出,虽然还只是第一批,可是已经足够让人放心了。
就算是后面的产品数据不尽如人意,那也只是工艺优化的问题,而不是光刻工厂的技术路线问题。
刘总管快步走到梁松的面前,紧紧地握住梁松的手说道:“梁博士,你们创造了奇迹啊!”
“今天的成绩代表着我们已经打破了西方光刻机的领先地位,我们重新开辟出了新的赛道,为半导体行业发展打开了新的领域,意义重大啊!”
面对刘总管的夸赞,梁松很快就从激动之中清醒过来,下意识地解释道:“领导,我只不过是一个执行者而已,真正提出光刻工厂构思,并完成核心技术突破研发的人是我们老板,他才是功劳最大的。”
随着梁松这句话说出口,立即就让众人把目光放到了王东来的身上。
而这个时候,众人这才注意到王东来的异样。
在所有人都在为这个测试数据而感到高兴的时候,王东来却皱着眉毛,任谁都能看得出来他有些不喜,一时间,倒是让众人生出了兴趣,产生好奇。